仕様確認、洗浄方式確認、クリーン設計、締結点設計です。

枚葉式洗浄、バッチ式洗浄、薬液洗浄、純水リンス、IPA乾燥、窒素乾燥の要求を整理します。装置フレーム、薬液槽、配管支持、搬送ロボット、制御盤の締結点を設計図面に固定します。クリーンルーム内で発じんを抑えるため、突出部、工具干渉、分解保守時の落下リスクを設計段階で排除します。

半導体洗浄装置は薬液、純水、温調、搬送精度を同時に扱います。締結点が設計段階で決まっていないと、組立時に追加穴加工が発生し、パーティクル発生、薬液漏れ、ロボット位置ずれの原因になります。

六角穴付きボルト、ノルトロックワッシャーを使用します。

六角穴付きボルトは装置フレーム、ブラケット、搬送ユニットベースの主要締結に使用します。ノルトロックワッシャーはポンプ、モーター、搬送軸受部など振動が加わる締結部で軸力低下を防止します。

強度区分は一般構造部で8.8相当、剛性確保部で10.9相当を基準にします。材質はドライ領域で鉄系表面処理品、薬液近接部でステンレス系を選定します。使用環境はクリーンルーム、薬液ミスト、純水飛散、装置振動を前提にします。規格はJIS B 1176、ISO 4762、JIS B 1256、ISO 898系を参照します。

SEMI S2 半導体製造装置の環境・健康・安全ガイドライン、ISO 14644 クリーンルーム及び関連制御環境、JIS B 1176 六角穴付きボルト、ISO 4762 六角穴付き円筒頭ねじを参考基準にします。

フレーム加工、架台組立、レベリング基準面の形成へ進みます。

架台組立、フレーム直角出し、レベリング、基準面固定です。

角パイプフレーム、アルミフレーム、ステンレス架台、ベースプレートを組み立てます。水平基準、対角寸法、搬送軸芯、薬液槽搭載位置を測定し、搬送ロボットと洗浄槽の位置関係を固定します。装置搬入後に再調整できる締結点は点検アクセスを確保します。

架台のねじれはウエハ搬送位置のずれ、ノズル位置のずれ、槽内流れの偏りにつながります。フレーム締結の軸力が不足すると、搬送精度と配管シール性が量産稼働中に低下します。

六角穴付きボルト、ノルトロックワッシャーを使用します。

六角穴付きボルトはフレーム連結、ベースプレート固定、補強ブラケット固定に使用します。ノルトロックワッシャーはポンプ架台、回転機器架台、搬送ロボットベースの緩み止めに使用します。

強度区分はフレーム一般締結で8.8相当、搬送ユニットベースで10.9相当を基準にします。材質は乾燥側で鉄系表面処理、薬液近接部と純水飛散部でステンレス系を選定します。使用環境は床振動、搬送加減速、保守分解、クリーンルーム内清掃を前提にします。規格はJIS B 1176、ISO 4762、JIS B 1256、ISO 898系を参照します。

SEMI S2、ISO 14644、JIS B 1176、ISO 4762、装置メーカー組立標準書、社内トルク管理基準を参考基準にします。

薬液槽、純水配管、排液配管、循環ポンプユニットの搭載へ進みます。

薬液槽搭載、純水配管、排液配管、ポンプ、フィルタ、バルブの固定です。

薬液槽、リンス槽、循環ポンプ、フィルタハウジング、バルブマニホールド、排液ラインを装置架台へ搭載します。薬液接液部と非接液部を分け、締結部が液だまりを作らない向きで固定します。保守交換するフィルタ、ポンプ、バルブは工具挿入方向と作業スペースを確保します。

薬液槽と配管の固定が不十分だと、運転中の脈動で継手が緩み、薬液漏れや装置停止が発生します。締結部が洗浄液に近い場合は腐食、すきま腐食、異物落下を抑える選定が必要です。

シールビス、六角穴付きボルト、ノルトロックワッシャーを使用します。

シールビスは液体飛散部のカバー、点検蓋、薄板部の防滴締結に使用します。六角穴付きボルトはポンプベース、フィルタブラケット、バルブ架台を固定します。ノルトロックワッシャーはポンプ振動と配管脈動による緩みを防止します。

強度区分はブラケット固定で8.8相当、ポンプベースで10.9相当を基準にします。材質は薬液ミスト部でステンレス系、乾燥側で鉄系表面処理品を選定します。使用環境は酸性薬液、アルカリ薬液、純水、排液、温調による熱膨張を前提にします。規格はJIS B 1176、ISO 4762、JIS B 1256、ISO 898系、装置メーカー配管施工標準を参照します。

SEMI S2、ISO 14644、JIS B 1176、ISO 4762、装置メーカー薬液配管施工標準書、社内漏れ検査基準を参考基準にします。

搬送ロボット、ノズル、センサー、制御盤の組付けへ進みます。

搬送ロボット、ノズルユニット、液面センサー、流量センサー、制御盤、端子台の組付けです。

ウエハ搬送ロボットのベースを基準面へ固定し、ティーチング前の機械原点を合わせます。ノズル、センサー、ケーブルダクト、制御盤を取り付け、薬液飛散部と電装部の距離を確保します。端子台とアース線は点検時に緩み確認できる向きで配置します。

搬送ロボットの締結が緩むと、ウエハ受け渡し位置がずれて破損につながります。センサー固定が不安定だと液面異常、流量異常、乾燥異常を誤検出します。制御盤の締結不良は振動による接触不良の原因になります。

六角穴付きボルト、ノルトロックワッシャー、スペーサー雄ねじ雌ねじ Bタイプを使用します。

六角穴付きボルトは搬送ロボットベースとノズルブラケットの固定に使用します。ノルトロックワッシャーは搬送加減速で緩みが発生しやすい箇所に使用します。スペーサー雄ねじ雌ねじ Bタイプはセンサー基板、制御基板、端子台周辺の高さ確保と絶縁距離確保に使用します。

強度区分はロボットベースで10.9相当、センサー取付部で一般小ねじ相当を基準にします。材質は搬送部でステンレス系または鉄系表面処理品、電装部で樹脂または非磁性金属を選定します。使用環境はクリーンルーム、微振動、薬液ミスト、電装盤内温度上昇を前提にします。規格はJIS B 1176、ISO 4762、JIS C 8201系、IEC 60204-1、ISO 14644を参照します。

SEMI S2、IEC 60204-1 機械類の電気装置、ISO 14644、JIS B 1176、ISO 4762、装置メーカー電装組立標準書を参考基準にします。

漏れ検査、動作確認、清浄度確認、出荷前検査へ進みます。

薬液漏れ検査、純水通水、搬送動作確認、粒子管理、出荷前締結確認です。

薬液槽、配管、ポンプ、フィルタ、バルブを通水し、漏れとにじみを確認します。搬送ロボットを低速、高速、連続運転で確認し、締結部のマーキングずれを確認します。清浄度確認ではカバー内の異物、ねじ脱落、ワッシャー脱落、工具残置を確認します。

出荷後の薬液漏れと搬送停止は生産ライン停止に直結します。締結確認を出荷前に実施することで、据付後の増し締め範囲を最小化し、クリーンルーム内での発じん作業を削減できます。

六角穴付きボルト、ノルトロックワッシャーを使用します。

六角穴付きボルトは検査後も繰り返し分解されるカバー、ユニット、ブラケットの基準締結に使用します。ノルトロックワッシャーは出荷振動、搬入振動、稼働振動で緩みが許されない締結部に使用します。

強度区分は検査対象の構造締結で8.8相当、搬送基準部で10.9相当を基準にします。材質は洗浄液に近い箇所でステンレス系、電装盤内と乾燥側で鉄系表面処理品を選定します。使用環境は輸送振動、据付振動、クリーンルーム清掃、薬液ミストを前提にします。規格はJIS B 1176、ISO 4762、JIS B 1256、ISO 14644、SEMI S2を参照します。

SEMI S2、ISO 14644、JIS B 1176、ISO 4762、装置メーカー出荷検査基準書、社内トルク監査基準を参考基準にします。

工程完了です。出荷梱包、現地搬入、据付後再確認へ移行します。